东莞市天测光学设备有限公司苏州分公司

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	VIEW Benchmark XLT X,Y,Z行程(mm)900 x 1500 x 1501250 x 1500 x 1501500 x 1500 x 1501250 x 2000 x 1501500 x 2000 x 150Y-axis - 2000 mmZ-axis – 200 mmX,Y,Z 光栅尺分辨率:0.5 μm平台驱动系统:直流伺服马达 X,Y,Zz大速度:X,Y -	2021-06-15