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VIEW MicroLine 1000自动化关键尺寸测量系统
■测量范围(XYZ)：100x 100x 175 mm■测量范围(XYZ)：200x 200x 175 mm■测量范围(XYZ)：300x 300x 145 mm
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2021-06-16 |
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VIEW MicroLine 300
主要技术参数：◆测量范围(XYZ)：标准：200×200×25mm；可选：300x300x25◆视场内测量精度：10nm(100X 镜头)；Z轴聚焦范围：25 mm◆视场内测量范围：0.5um~400um；◆视场内测量重复性(100x 物镜)： 晶圆上0.01
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2021-06-16 |
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VIEW Benchmark300 影像测量仪
Summit450/600/800 参数介绍：XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um(E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um(E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)英制单位公制单位测量范围(Summit 450)18"
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2021-06-16 |
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Summit 450/600/800
Summit450/600/800 参数介绍：XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um(E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um(E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)英制单位公制单位测量范围(Summit 450)18"
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2021-06-16 |
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VIEW BenchMark 250
BenchMark 250 主要技术参数XY 精度:E2=(1.8+6L/1000)微米(E2=(1.0+6L/1000)微米 需高分辨率光栅尺)Z精度:E1=(2.0+5L/1000)微米(E1=(1.2+5L/1000)微米 TTL激光和5倍镜头)英制单位公制单位测量范围12" X6"X6"300x
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2021-06-16 |
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VIEW BenchMark 450
BenchMark 450 主要技术参数XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米 Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）英制单位公制单位测量范围18" X18"X6"450x450x150毫米尺寸48" X45"X67"1210x1140X1700
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2021-06-16 |
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Pinnacle+Plus
特征：X,Y,Z 行程 (毫米)：250 x 150 x 50X,Y,Z光栅尺分辨率：XY - 0.05μm,零膨胀材料，Z - 0.01μm,零膨胀材料平台驱动系统：无摩擦高速线性马达驱动XY,直流伺服马达驱动Zz大速度：X,Y - 100 mm/sec / Z - 25 mm/s
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2021-06-16 |
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VIEW Benchmark 624
VIEW Benchmark 624是QVI旗下一款大容量式全自动三轴尺寸测量系统VIEW Benchmark 624的移动桥式结构和光学可使被测组件始终保持静止状态X,Y,Z行程(mm)：624 x 624 x 150，0.5 μm 选项：624 x 624 x 200X,Y,Z光栅尺
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2021-06-16 |
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